MEMS的概念最早在1960年代提出來，但是一直到1980年代才真正進入商業化。工程師和科學家們想基于集成電路制造技術來做MEMS，最好是能做到一片芯片上。MEMS最早的商業應用案例之一是噴墨打印機墨盒上的小噴嘴。每臺打印機打印頭上的噴嘴包括了一個中空的腔。打印用的墨流到其中，利用微小的電加熱器加熱，然后通過噴口噴出。這個空腔就是基于同集成電路一樣的光刻技術制造的。

1982年，汽車的氣囊系統（最早在1950年代推出）也開始利用MEMS技術來檢測是否有碰撞發生。最早是模擬器件公司（Analog Devices）進一步發展了這個想法，1991年，這家公司開發出用于氣囊系統的加速器芯片用于檢測突然的車速下降，其中機械和電子部分都集成在一個芯片上。后來他們還開發出用于汽車的全球定位系統的片上陀螺儀。

信息來源
https://ethw.org/MEMS#:~:text=MEMS%20were%20first%20proposed%20in%20the%201960s%2C%20but,connected%20to%20electronic%20circuits%20on%20the%20same%20chip.